供应复合型分子泵

应用领域：  光学玻璃镀膜工业；薄膜工艺；真空冶金；照明工业排气 
型号：     FSF-150/600 
规格：     FSF-150/600 

 
 
型号 FSF-150/600 
抽气速率（l/s） 600L/S 
压缩比N­­­2 >10­­­9 
压缩比H­­­2 >8×103 
极限压强(Pa) <2×10-8   <1×10-7 
高真空法兰 LF150 CF150 
排气口法兰 KF40 
启动加速时（min） <5min 
电机转速（n/min） 24000n/min 
较小不平衡（mg） 15mg 
建议采用前级泵 机械泵4～8L/S 
充油量（ml） / 
安装方式 垂直±5° 
冷却方式 水冷或风冷 
冷却水温度 <20℃ 
环境使用温度（℃） 风冷<32℃  水冷<40℃ 
泵体烘烤温度（℃） <100℃ 
泵重量（kg） 30kg 
外形尺寸（mm） Φ280×416